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マスフローコントローラー 10SCCM-Ar C1005

マスフローコントローラー 10SCCM-Ar C1005

マスフローコントローラー 10SCCM-Ar C1005

マスフローコントローラー 10SCCM-Ar C1005

商品説明・詳細
送料・お届け

商品情報

マスフローコントローラー　10SCCM-Ar C1005 その他

■特徴■

●熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します。

■仕様■

●フルスケール流量：10SCCM-Ar
●ガス種類：Ar
●流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃）
●応答性：6sec
●流量制御範囲：5～100％FS
●入出力：アナログ信号（0～5VDC）
●バルブ形式：N/Oノーマルオープン
●再現性：±0.2％FS
●動作圧力範囲：50～300kPa
●耐圧：1MPa（G）
●外部リークレート：1×10^-7Pa･m3/sec（He）以下
●接ガス部材質：SUS316、PTFE、フッ素ゴム
●接続：1/4in.SWL相当
●電源：＋15VDC±5％　60mA、－15VDC±5％　150mA
●通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）
●サイズ：127×25.5×100mm

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